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全球新冠病毒感染人數超過300萬，疫情也蔓延到全球各個角落。嚴重的病毒患者肺部纖維化導致呼吸困難，危重病人甚至不能自主呼吸。呼吸機作為治療的主要醫療器械之一，能預防呼吸衰竭，減少并發癥，是延緩病人生命和救治的主要工具。流量傳感器是呼吸機的關鍵零部件之一，通過檢測呼吸機中氣體流量并將其轉換為其他輸出信號，從而實現呼吸機的自動調控。
新一代MEMS傳感器芯片技術
精確測量極小流量
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